J-50MUV-248 热释电激光能量计探头传感器
SKU:1191449
800 μJ 至 1J 脉冲能量传感器,重复率最高可达 200 pps,光谱范围为 0.19 至 0.266 微米,活跃面积为 50 毫米。
主要特色:
• 光谱范围为193至266纳米
• 50毫米活性面积直径
• 800微焦耳至1焦耳能量范围
• 200 pps 重复率操作
• 直接USB接口
• ISO 17025认证
这款J-50MUV-248能量传感器采用MaxUV涂层和扩散器,以提升最大能量密度,并优化用于193纳米ArF激光器和248纳米KrF激光器。该传感器直接校准为248纳米,并支持193纳米至266纳米的光谱补偿。
EnergyMax-USB J-50MUV-248 能量传感器通过 USB 线连接,直接连接到电脑。有DB25型号(PN 1110572)。
可采用大型散热器(PN 1123432),通过提升平均功率能力,延长EnergyMax传感器的能量和重复率。
技术参数:
| 电缆类型 | USB |
| 活动面积直径 | 50mm |
| 探测器涂层 | MaxUV |
| 能量范围 | 800uJ-1J |
| 波长范围 | 190 nm - 266 nm |
| 噪声等效能量 | <80uJ |
| 最大重复频率 | 200Hz |
| 最大平均功率 | 15V |
| 最大脉冲宽度 | 86us |
| 最大能量密度 | 200mJ/cm²(@193nm,10纳秒) |
| 扩散器 | 有 |
| 校准不确定性(%)(k=2) | ±3 |
| 能量线性(%) | ±3 |
| 校准波长(纳米) | 193 |
| 电缆长度(米) | 3 |
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